本发明涉及一种bat365旧网址。
背景技术：
bat365旧网址一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，而真空泵是bat365旧网址中最重要的零部件，但真空泵常常会出现一些故障导致镀膜设备没法正常工作，存在一定的不足之处。
技术实现要素：
本发明的目的就在于提供一种bat365旧网址真空泵的保养维护装置。
本发明是这样实现的。bat365旧网址真空泵的保养维护装置，包括一个机体，在机体上设置温度感应模块、间隙感应模块、传输模块、管理模块，温度感应模块感应bat365旧网址电机的温度以及被抽气体的温度情况，间隙感应模块感应旋片与定子之间的间隙大小，感应到的信息通过传输模块传输至管理模块进行处理。
bat365旧网址真空泵的保养维护装置，在机体上设置运作感应模块，感应bat365旧网址真空泵有无冒烟或漏油现象。
bat365旧网址真空泵的保养维护装置，设置提示模块，当bat365旧网址电机温度过高或运作异常时发出提示信息。
bat365旧网址真空泵的保养维护装置，提示信息的方式为声音或LED灯光显示。
bat365旧网址真空泵的保养维护装置，在机体上设置油量感应模块，感应bat365旧网址泵腔内的油量情况。
上述bat365旧网址真空泵的保养维护装置，能够防止bat365旧网址真空泵出现冒烟和漏油现象，保证真空泵的真空度，更加有效的保障了bat365旧网址的正常运行。
附图说明
附图为一种bat365旧网址真空泵的保养维护装置的结构示意图。
图中标号分别为：1-机体、2-温度感应模块、3-间隙感应模块、4-传输模块、5-管理模块、6-运作感应模块、7-提示模块、8-油量感应模块。
具体实施方式
实施例：如附图所示。bat365旧网址真空泵的保养维护装置，包括一个机体(1)，在机体(1)上设置温度感应模块(2)、间隙感应模块(3)、传输模块(4)、管理模块(5)，温度感应模块(2)感应bat365旧网址电机的温度以及被抽气体的温度情况，间隙感应模块(3)感应旋片与定子之间的间隙大小，感应到的信息通过传输模块(4)传输至管理模块(5)进行处理。
bat365旧网址真空泵的保养维护装置，在机体(1)上设置运作感应模块(6)，感应bat365旧网址真空泵有无冒烟或漏油现象。
bat365旧网址真空泵的保养维护装置，设置提示模块(7)，当bat365旧网址电机温度过高或运作异常时发出提示信息。
bat365旧网址真空泵的保养维护装置，提示信息的方式为声音或LED灯光显示。
bat365旧网址真空泵的保养维护装置，在机体(1)上设置油量感应模块(8)，感应bat365旧网址泵腔内的油量情况。
上述bat365旧网址真空泵的保养维护装置，能够防止bat365旧网址真空泵出现冒烟和漏油现象，保证真空泵的真空度，更加有效的保障了bat365旧网址的正常运行。
