PVD真空镀膜设备蒸发系统主要指成膜装置部分，PVD镀膜机的成膜装置很多，PVD镀膜有电阻加热、射频溅射、离子镀等多种方式。
下面先容PVD镀膜电阻加热和电子枪蒸发的方式：
PVD镀膜电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用最多，PVD镀膜最广泛的蒸发方式，PVD镀膜也是应用时间最长的蒸发方式。
PVD镀膜的工作方式是：
PVD镀膜将钨片做成船状，然后安装在两个电极中间，再热传导给PVD镀膜材料，当钨舟的热量高于PVD镀膜材料熔点的时候，材料就升华或者蒸发了，PVD镀膜由于操作方便，结构简单，成本低廉。PVD镀膜电子枪蒸发是到目前为止应用最多的一种蒸发方式，PVD镀膜可以蒸发任何一种PVD镀膜料。
将镀膜材料放在坩埚里面，PVD镀膜将蒸发源制作成灯丝形状，PVD镀膜由于灯丝的材料是钨，形成了一股电子束，PVD镀膜由于电子束温度非常高，PVD镀膜可以熔化任何镀膜药材凝结下来。
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