bat365旧网址,真空镀膜设备真空阀和真空挡板特点
（1）bat365旧网址,真空镀膜设备隔膜式真空阀
隔膜式真空阀是利用阀杆将橡胶隔膜直接压在阀座上，用来截止或接通气流。它常装在被抽真空容器与各种低真空泵之间。典型的隔膜式真空阀结构图如图 22-1 所示。
bat365旧网址,真空镀膜设备真空阀和真空挡板其动作原理是旋转手柄使阀杆向下运动，将橡胶隔膜直接压在阀座上，截止气流。反方向旋转手轮，阀杆向上运动，带动橡胶隔膜离开阀座，接通气流。 阀门主体采用铝合金铸造。结构简单、质量轻、体积小，密封性能良好。采用丁腈橡胶的隔膜真空阀，用 于前级和预抽低真空管道上及温度一 25?80°C的非腐蚀性气体。采用氟橡胶的隔膜真空阀，可用于高真空系统，使用温度范围为一30?150°C。
（2）bat365旧网址,真空镀膜设备真空阀和真空挡板真空挡板阀
bat365旧网址,真空镀膜设备真空阀和真空挡板真空挡板阀的工作原理是阀板通过阀杆做上下运动而实现密封的。驱使阀杆运动的传动部件有手动、 手电两动、气动三种方式。手动传动部件，以螺纹结构为主，也可以采用平凸轮结构。
bat365旧网址,真空镀膜设备真空阀和真空挡板分别为直角式、直通式真空挡板阀结构示意图。手动 两用的传动部件，由电动机、蜗轮、蜗杆组成，并装有行程开关。当接通电源后，电动机按某一方向（如开启方向）旋转，通过蜗轮、蜗杆带动阀杆向上运动使阀板上升，当阀上升到一定高度时，行程开关自动切断电源，阀杆运动马上停止，反之亦然。手动时，松开手轮背帽，用手按一定方向转动手轮即可，图22-4为GDD型手、电两用真空挡板阀外形图。
bat365旧网址,真空镀膜设备真空阀和真空挡板气动传动部件以压缩干燥空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动汽缸活塞上下运动，带动阀杆上下运动，使阀板开启关闭，从而达到接通或停止气流的 目的。真空挡板阀有高真空挡板阀和超高真空挡板阀两种。高真空挡板阀用于高真空系统接通或截止气流。 适用压力范围：轴封为橡胶时为1.3X10_4?105Pa; 轴封为波纹管结构时为1.3X10-5?105Pa。工作介截止气流，可安装在被抽真空容器（真空室）与真空泵之间；或用于在半连续真空作业的进出料容器上。 使用温度为一20?80°C，不适用于对黑色金属有腐蚀性或含颗粒状物灰尘的气体。
b.超高真空插板阀主要用于超高真空系统中接通或截止气流。适用的介质为洁净的空气或非腐蚀性气体；适用温度在阀门开启时，阀体允许烘烤温度小于 150°C。由于真空插板阀具有流导大，密封性能好，放气率低，体积小，结构紧凑、合理，操作方便，安装位置可任意选择等一系列优点，因此真空插板阀广泛用 于中、大型高真空、超高真空装置的真空系统中。
②形式和性能参数
a.高真空插板阀的形式与基本参数，已有行业标准（JB/T 4077—91）。该标准规范的高真空插板阀的形式和基本参数，适用于1.3X10-5?1.0X105Pa真空系统中用来幵启或隔断气流的插板阀。幵启阀门时，阀板两侧的压差应小于或等于2. 7kPa。
b.我国生产的超高真空插板阀有手动（CC型）、 气动（CCQ型）和电动（CCD型）三种。适用于介质为清洁空气及非腐蚀性气体的超高真空系统中切断 或接通气流。其中GC型系列高真空插板阀是以螺杆传动来推动钢球运动，撑开阀板关闭，又靠弹簧力收 拢阀板打开的高真空阀门；GCQ系列以压缩空气为动力推动钢球运动，实现阀门的开启和关闭。这两种阀的材料为不镑钢，漏气速率不超@ 1.3X 10-7 Pa • L/So GCD型系列阀门形式同CCl5型超高真空插板阀，只是连接法兰按高真空法兰由刀口金属密封 结构改为丁腈橡胶圈密封结构；阀体阀板材料可为不 锈钢或碳钢镀镍，阀板密封件材料为丁腈橡胶。适用范围为 1.3X104 ?105Pa。
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