1)所需设备:CCZK-900ION-T系列多弧离子工具镀膜机
2)获得膜层:TiN(氮化钛),AlN(氮化铝),CrN(氮化铬),TiC(碳化钛),TiAlN(氮化铝钛)等
3)涂装流程:工具产品的前处理(超声波清洗或表面一定程度的抛光)----烘箱烘干----真空离子镀膜(2H-12H)---- 冷却---出炉---成品包装
4)基本配置:
腔体结构:D900mm*H1100mm,立式前开门
腔体材质:304不锈钢材质
烘烤系统:铠装加热550℃ PID温控
冷却系统:不锈钢水冷套装
多弧电源:200A 10套
多弧靶材:钛靶或不锈钢靶 10套
偏压电源:20KW 1套
Bias power:20kw 1set
气体控制:4路气体流量控制系统
泵抽系统:1台分子泵+1台罗茨泵+1台直联泵(德国莱宝)
智能控制:PLC+台湾研华工业计算机+HMI智能人机界面控制+报警系统
安装服务:免费提供客户现场的安装调试服务
保修服务:免费提供12个月的保修服务
培训服务:免费提供客户操作人员的基本培训服务
5)需求配套设施:
空压机+储气罐+水泵+水冷设备+超声波清洗机
水压流速:0.2Mpa 3m3/h
气 压:0.4-0.8mpa
水 温:小于25℃