bat365旧网址(中国)有限公司

欢迎光临驰诚真空机械有限企业网站!

关于驰诚 | 网站地图 | English

热门关键词:bat365旧网址 真空镀膜设备 bat365旧网址厂家

关于驰诚 / ABOUT US

bat365旧网址蒸发与磁控溅射镀铝性能

编辑:驰诚机械  来源:温州驰诚机械设备有限企业  更新时间:2017-12-28 10:03:15  点击次数:
bat365旧网址电子束蒸发与磁控溅射镀铝性能分析研究,为了获得性能良好的半导体电极Al膜,大家通过优化工艺参数,制备了一系列性能优越的Al薄膜。通过理论计算和性能测试,分析比较了真空镀膜设备电子束蒸发与磁控溅射两种方法制备Al膜的特点。

严格控制发Al膜的厚度是十分重要的,因为Al膜的厚度将直接影响Al膜的其它性能,从而影响半导体器件的可靠性。对于高反压功率管来说,它的工作电压高,电流大,没有一定厚度的金属膜会造成成单位面积Al膜上电流密度过高,易烧毁。对于一般的半导体器件,Al层偏薄,则膜的连续性较差,呈岛状或网状结构,引起压焊引线困难,造成不易压焊或压焊不牢,从而影响成品率;Al层过厚,引起光刻时图形看不清,造成腐蚀困难而且易产生边缘腐蚀和“连条”现象。

采用bat365旧网址电子束蒸发,行星机构在沉积薄膜时均匀转动,各个基片在沉积Al膜时的几率均等;行星机构的聚焦点在坩埚蒸发源处,各个基片在一定真空度下沉积速率几乎相等。采用bat365旧网址磁控溅射镀膜方法,由于沉积电流和靶电压可以控制,也即是溅射功率可以调节并控制,因此膜厚的可控性和重复性较好,并且可在较大表面上获得厚度均匀的膜层。

附着力反映了Al膜与基片之间的相互作用力,也是保证器件经久耐用的重要因素。真空镀膜设备溅射原子能量比蒸发原子能量高1-2个数量级。bat365旧网址高能量的溅射原子沉积在基片上进行的能量转换比蒸发原子高得多,产生较高的热能,部分高能量的溅射原子产生不同程度的注入现象,在基片上形成一层溅射原子与基片原了相互溶合的伪扩散层,而且,在真空镀膜设备成膜过程中基片始终在等离子区中被清洗和激活,清除了附着力不强的溅射原子,净化且激活基片表面,增强了溅射原子与基片的附着力,因而溅射Al膜与基片的附着力较高。

bat365旧网址

关键词:bat365旧网址
注:文章内容由温州驰诚机械设备有限企业整理发布 转载请注明http://www.wzcczk.com/
本文链接:http://www.wzcczk.com//html/news/2017-12-28/670.html
上一篇:真空镀膜设备需要的环境要求
下一篇:bat365旧网址玻璃阻断热辐射什么

相关文章

bat365旧网址详细镀膜方法-2020-05-04
bat365旧网址操作视频-2020-04-27
bat365旧网址的工作原理-2020-04-15
bat365旧网址大概多少钱一台-2020-04-09
丝锥,钻头,高速刀具,耐磨轴承等产品的超硬质功能镀膜需求-2024-06-03
汽车大灯照明系统的镀铝硅油保护膜涂层需求-2024-05-27
手机玻璃面板,超硬防水,防指纹涂镀膜需求-2024-05-21
大型平板玻璃,光伏玻璃,low-e玻璃产品的大面积连续式溅射镀膜需求-2024-05-14
bat365旧网址基本技术要求-2024-05-07
高端化妆品瓶盖,开关面板,女士鞋材等装饰UV真空镀膜涂层需求-2024-04-29
一种旋转式bat365旧网址的制作方法-2024-04-23
bat365旧网址使用前要检查什么-2024-04-22
真空镀膜设备需要的环境要求-2024-04-17
bat365旧网址和蒸发bat365旧网址塑胶镀膜工艺变化详细解析-2024-04-16
bat365旧网址行业市场竞争-2024-04-16
版权所有:bat365旧网址 Copyright 2015 All Rights Reserved
24小时售后服务电话:400-882-5225  电 话:0577-56615101  


手机:13857753897  传真:0577-56615100  Email:001@ccvacuum.com  地 址: 温州市龙湾区永兴北园空港新区兴腾路4号

bat365旧网址|bat365旧网址

XML 地图 | Sitemap 地图