人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪、以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等。它们都离不开镀膜技术,镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸取膜等几种。
一般光学仪器中的光学系统都由多个透镜组成,光线要经光气-玻璃界面,会有相当多的光线被反射掉,透过的光线很少,影响光学仪器的光学效果。
为了减少反射损耗,增大光线的透过率,往往在玻璃表面沉积增透膜来提高光的透过率。反射膜与增透膜相反,反射膜要求把入射光大部分或几乎全部反射回去。例如:光学仪器、激光器、波导管、汽车和灯具的反射镜都需要镀反射膜。反射膜有金属膜和介质膜两种。
镀制金属高反射膜最常用的材料有铝、银、金、铜等。为了提高金属膜表面的抗擦损能力,往往在表面镀一层保护膜,如SiO/SiO2/Al2O3。
在激光器和多光束干涉仪反射镜上,一般沉积低吸取、高反射的全介质反射膜。其结构是在基片上交替沉积光学厚度为λ/4的高、低折射率材料的膜层。
关键词:真空镀膜技术
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